多孔吸盤（吸附工作臺(tái)）是指使用于半導(dǎo)體制造階段，組裝在Dicing saw（劃片機(jī)）或檢查裝置上的部件。是能夠利用工作臺(tái)表面的多孔質(zhì)構(gòu)造與負(fù)壓，使薄硅片等能夠保持平面的產(chǎn)品。Dicing saw（劃片機(jī)）以20μm左右的寬幅切割硅片，所以對(duì)于晶圓吸附面的平面度平行度要求非常高。

多孔吸盤的規(guī)格：

形狀：圓形、方形、圓柱形、特殊形（可制作各種形狀）

本體材質(zhì)：不銹鋼、鈦合金、鋁、陶瓷

多孔體材料：陶瓷、不銹鋼、碳、PTFE
尺寸：圓型 （φ5㎜～φ500㎜）
     方型（□5mm~□350mm）

本體表面處理：氟樹脂加工、耐酸鋁、防銹黑色膜LD處理、無電解鍍鉻

多孔體材料：3μm~580μm