時間：2019-12-05 瀏覽次數：2755次
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設備名稱: |
eFlow Series |
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廠家: |
DIC GROUP |
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型號: |
C Series |
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年份: |
now |
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設備狀態: |
new |
eFLOW Series是通過使用DIC自主開發的「中空纖維透氣膜」補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。可得到防止因靜電引起的「灰塵再次附著」和基板圖形的防「靜電破壞」的效果。
特征
n由于結構簡單，故障少
n采用獨特的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩定性優良
n二氧化碳供氣模組的壽命長（保證期限為5年，本公司制）
主要用途
n掩模、網袋的清洗 n洗滌器清洗 n高壓噴射清洗 n切割工序的清洗 n槽清洗
產品陣容
Cabinet Type（C Series）
C Series附帶可裝入2個CO2氣瓶的機柜。電阻率傳感器內置于機柜內，可通過eFLOW直接把水管連接使用場所。
型號一覽表
| 處理流量（L/min） | 型號 | 模組 |
|---|---|---|
| 1-16 | 1AC-P101 | PF-001L-NA 1個 1module |
| 5-30 | 2AC-P101 | PF-001L-ND2 2個 2modules |
| 10-50 | 3AC-P101 | PF-001L-ND3 2個 2modules |
