FLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的「中空纖維透氣膜」補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。可得到防止因靜電引起的「灰塵再次附著」和基板圖形的防「靜電破壞」的效果。

特征

n由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障少

n采用獨(dú)特的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良

n二氧化碳供氣模組的壽命長（保證期限為5年，本公司制）

主要用途

n掩模、網(wǎng)袋的清洗   n洗滌器清洗   n高壓噴射清洗   n切割工序的清洗   n槽清洗

產(chǎn)品陣容

Panel mount Type（P Series）

P Series可安裝在符合EIA（美國電子工業(yè)協(xié)會(huì)）規(guī)格的支架上。1AP型為標(biāo)準(zhǔn)機(jī)，連接部全清潔規(guī)格，2AP型為選購件，可對(duì)應(yīng)全清潔規(guī)格。