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DGP8761

時間:2020-03-27   瀏覽次數:2038次

提高加工穩定性,實現更高產能效率
DGP8761是全球銷售業績突出的DGP8760的改良機型。本機型實現了背面研磨到去除殘余應力技術的一體化,可以穩定地實現厚度在25μm以下的薄型化加工。還配置了新開發的主軸,適用于高速研削加工。有助于縮短薄型晶圓的加工時間(與DGP8760相比較)。另外,合理配置搬運機構的布局,縮短了加工以外的生產時間。
第三主軸的多樣應用
用于薄晶圓加工的第3個主軸用途包括以下內容。
去除殘余應力
●環保,不使用藥液、水的「干式拋光加工」
●CMP(特殊選項)
超精密研磨加工(特殊選項)
●Poligrind
●UltraPoligrind
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