時間:2020-03-03 瀏覽次數:2446次
順應晶圓技術發展潮流,實現超薄、大口徑晶圓加工
匯集現有研削機的精華
DFG8540/8560是在世界各地擁有大量用戶的DFG800系列的升級換代機種。該機種既具備了與800系列同樣的技術指標及性能,又在設備的重量方面取得了重大改進。DFG8540的重量比原來減少了1.2 t(比DFG850降低28 %),DFG8560的重量比原來減少1.0 t(比DFG860降低20 %)。
可對100μm以下的超薄晶圓進行精密研削
改善超薄晶圓研削及搬運系統的功能參數設計,提高了超薄研削精加工的穩定性。
具有對應超薄研削精加工技術的系統擴張功能
可以與DBG(Dicing Before Grinding=先分割晶圓,后進行研削)和干式拋光機(DFP8140/8160)等組成聯機系統。
統一研削加工點,提高加工可信度
通遇將第一主軸的研削加工點與第二主軸的研削加工點位置統--,不但提高了第二主軸的研削咖工穩定性,而且減小了單片晶國內的厚度誤差和晶圓之間的厚度誤差,還有助于提高超薄研削加工質量的穩定性.維持與現有DFG800系列間的兼容性及零部件互換性
DFG8540/8560維持與現有機種的互換性,可以使用與DFG800系列機相同的研削磨輪,磨輪修整板.工作臺。操作簡便
DFG8540/8560配置了觸摸式液晶期示器及圖形化用戶界面GUI(Graphical UserInterface),提高了操作使利性。而且設備的機械狀態和加工狀況可在控制畫面上同步顯示。操作人員只要觸摸控制畫面上的圖形化按鈕,就可以簡單地完成操作,不但加快了作業速度,還使設備操作和維修保善都變得非常容易。